臺式掃描電子顯微鏡

作者：管理員發布于(yu)：2017-03-17  瀏覽次數：

臺式掃描電鏡(臺式SEM)簡介：
臺(tai)式掃(sao)(sao)(sao)描(miao)(miao)電子顯(xian)微(wei)鏡(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)的概(gai)念是美國FEI公司(1997年(nian)原FEI和飛利浦電子光學合并而成(cheng))提出(chu)的，并與2006年(nian)正式發布了(le)旗(qi)下(xia)的Phenom臺(tai)式掃(sao)(sao)(sao)描(miao)(miao)電鏡，并于(yu)2009年(nian)成(cheng)立Phenom-World公司，專業研發并生(sheng)產臺(tai)式掃(sao)(sao)(sao)描(miao)(miao)電鏡。相較(jiao)于(yu)傳統大型(xing)SEM，臺(tai)式掃(sao)(sao)(sao)描(miao)(miao)電鏡具有(you)體(ti)積小巧、操作簡(jian)便(bian)、價(jia)格(ge)便(bian)宜，最(zui)大放大倍數(shu)在100,000倍左右，快速抽真空(kong)，不用噴金測量不導(dao)電樣品(pin)等優勢。此類新型(xing)儀器(qi)的出(chu)現(xian)填補了(le)光學顯(xian)微(wei)鏡與傳統大型(xing)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)(miao)電子顯(xian)微(wei)鏡之間的間隙，可廣泛應用于(yu)材料科學、納米顆粒(li)、生(sheng)物醫學、食品(pin)藥品(pin)、紡織纖維、地(di)質科學等諸多領域。
臺式掃描電鏡(臺式SEM)組成：
真(zhen)空系統:一般采用機械泵與分(fen)子泵聯動
電子槍(qiang):一般為(wei)LaB6(六(liu)硼(peng)化鑭(lan))、CeB6(六(liu)硼(peng)化鈰(shi))或鎢(wu)燈(deng)絲(si)(si)，其(qi)中(zhong)鎢(wu)燈(deng)絲(si)(si)的壽命較短，僅(jin)為(wei)40-100小時，需頻繁更換(huan)，LaB6、CeB6燈(deng)絲(si)(si)壽命超過(guo)1000小時，且亮度更高。目前尚沒(mei)有采用(yong)場(chang)發射(Field Emission)的臺式掃(sao)描電鏡。
電磁透鏡
探測(ce)器:背(bei)散射電子或二次電子探測(ce)器